真空吸盤

　　特點(diǎn)：

　　1，碳化硅陶瓷底座(低膨脹、高導(dǎo)熱，高彈性模量)根據(jù)工藝要求可選擇氧化鋁陶瓷基座、金屬基座

　　2，多孔碳化硅陶瓷吸附平面(低膨脹、高耐磨性)

　　3，高穩(wěn)定性、輕量化結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)

　　4，優(yōu)異的尺寸穩(wěn)定性

　　5，優(yōu)異的耐化學(xué)腐蝕性

　　6，超高平面度，低至1μm

　　7，可調(diào)整孔隙結(jié)構(gòu)及孔隙率滿足不同工藝要求(孔徑10μm-200μm、孔隙率30%-70%)應(yīng)用于光刻、刻蝕、激光處理、晶圓檢測等制程

　　結(jié) 構(gòu) 特 點(diǎn)：

　　中空結(jié)構(gòu)

　　不對稱薄板結(jié)構(gòu)

　　技術(shù)指標(biāo)要求：

　　面板厚度1mm

　　內(nèi)部筋板最小0.5mm

　　平面度≤1μm

　　平行度≤ 1μm